Silicon carbide xanh để đánh bóng chất nền bán dẫn
Cacbua silic xanh (SiC) là vật liệu mài mòn có độ tinh khiết cao được sử dụng rộng rãi trong đánh bóng chất nền bán dẫn do độ cứng đặc biệt (9,2–9,5 Mohs), độ ổn định nhiệt và tính trơ về mặt hóa học. Sau đây là phân tích chi