Giới thiệu về cacbua silic xanh:
Silicon carbide xanh ( SiC xanh , công thức hóa học SiC ) là một loại vật liệu mài mòn tinh thể tổng hợp có độ tinh khiết cao, nổi tiếng với độ cứng cực cao, các cạnh cắt sắc bén và độ ổn định hóa học/nhiệt tuyệt vời. Đây là loại vật liệu SiC cao cấp nhất, thường được gọi là “kim cương xanh” trong ngành vật liệu mài mòn công nghiệp.
| Tài sản | Silicon Carbide xanh |
|---|---|
| Công thức hóa học | SiC |
| Độ tinh khiết | 98,5–99,5% SiC (loại cao cấp ≥99,9%) |
| Độ cứng Mohs | 9.2–9.5 (gần kim cương) |
| Độ cứng vi mô | 3200–3600 kg/mm² |
| Tỉ trọng | 3,22 g/cm³ |
| Độ dẫn nhiệt | 80–140 W/m·K (khả năng tản nhiệt tuyệt vời) |
| Sự giãn nở nhiệt | Thấp |
| Điểm nóng chảy | ~2700°C |
| Tính ổn định hóa học | Trơ với nước, axit, kiềm và hầu hết các dung môi. |
| Hình dạng hạt | Sắc nhọn, vuông vức, đa diện; khả năng tự mài sắc tốt. |
Ưu điểm của Silicon Carbide xanh trong gia công bề mặt wafer
- Độ cứng và khả năng cắt vượt trộiVới độ cứng Mohs từ 9,2 đến 9,5, silicon carbide xanh cứng hơn nhiều so với silicon đơn tinh thể. Nó có các cạnh hạt sắc bén và khả năng tự mài sắc tuyệt vời, mang lại tốc độ loại bỏ vật liệu cao để loại bỏ hiệu quả các vết bẩn trên bề mặt và các lớp bị hư hỏng trên tấm wafer.
- Kích thước hạt đồng đều và chất lượng bề mặt tuyệt vờiBột mịn được phân loại nghiêm ngặt có sự phân bố kích thước hạt hẹp và độ vón cục thấp. Nó tạo ra các vết xước nhỏ, nông thay vì các vết cắt sâu, sứt mẻ hoặc lõm, kiểm soát hiệu quả hư hại dưới bề mặt và đảm bảo kết quả mài bóng nhất quán.
- Độ ổn định hóa học và nhiệt tuyệt vờiVề mặt hóa học, nó trơ với nước, các loại dung dịch mài thông thường và các chất phụ gia axit/kiềm, do đó sẽ không ăn mòn các tấm silicon. Nó duy trì độ cứng và hình dạng hạt ổn định dưới tác động của nhiệt ma sát, và khả năng dẫn nhiệt tốt giúp tản nhiệt nhanh chóng để tránh biến dạng nhiệt của tấm silicon.
- Độ tinh khiết cao cho các ứng dụng bán dẫnHàm lượng kim loại nặng và tạp chất thấp hơn so với silicon carbide đen. Sản phẩm không gây ô nhiễm điện, đáp ứng đầy đủ các yêu cầu về độ tinh khiết cao trong sản xuất chất bán dẫn và tấm wafer quang điện.
- Khả năng chống mài mòn tốt và hiệu quả về chi phíĐộ mài mòn thấp giúp kéo dài tuổi thọ sản phẩm. Sản phẩm này tiết kiệm chi phí hơn nhiều so với bột kim cương trong khi vẫn duy trì hiệu suất mài bóng đáng tin cậy, lý tưởng cho sản xuất hàng loạt. Bột phân tán tốt trong dung dịch mài, giảm tần suất thay dung dịch.
- Độ cứng vừa phảiĐộ giòn và độ dẻo dai cân bằng giúp ngăn chặn sự bám dính quá mức của các mảnh vụn nhỏ vào bề mặt wafer, đơn giản hóa các quy trình làm sạch tiếp theo. Sản phẩm tương thích với nhiều loại tấm mài và thiết bị mài một mặt/hai mặt, vát cạnh và các quy trình khác.